對于很多材料在深冷回火一體爐內加熱除了要生成氧化物、氫化物、氮化物外，非該設備中加熱的材料還會吸收氣體并向內部擴散，使材料的性能嚴重惡化。這些氧化、還原、脫碳、增碳、吸氣甚至產生腐蝕等弊病，有時在可控氣氛爐或者鹽浴爐中也難以避免，而真空熱處理爐可以在很多時候避免這些弊病。真空熱處理實質上是在極稀薄的該設備氣氛中進行熱處理，該設備內氣體分析表明，爐內殘存的氣體是H2Q、O2、CO2以及油脂等有機物蒸汽。深冷回火一體爐內由于這些氣體的含量非常少，其分壓力很低，不足以使被處理的材料產生氧化、還原、脫碳、增碳等反應，所以材料表面的化學成分和原來的表面光亮度可保持不變。深冷回火一體爐內高真空有兩個特點：

　　1、高真空氣氛的化學活性極低，因此，利用該設備進行熱處理爐時，氣相與固相界面上發(fā)生的反應，如氧化、還原、脫碳、增碳等，不會進行到有影響的程度；

　　2、該設備內的高真空氣氛使氣體體積增大的變化非常迅速，可使材料放出溶解的氣體或者氧化物發(fā)生分解。正是由于該設備內高真空氣氛的這兩個特點，在該設備高真空氣氛中，氧分壓很低，氧化作用被抑制。因此，為了達到無氧化的目的，必須是該設備內氧的分壓力低于氧化物的分解壓力。

　　當爐內有大量碳黑沉積時，會破壞爐內的滲碳反應過程，影響碳勢控制穩(wěn)定性，影響加熱元件的熱傳遞，降低爐內構件的使用壽命。爐內出現較多積碳時應及時燒掉，建議三周左右燒一次碳黑，如果積碳黑速度較快，應適當縮短燒碳黑的周期。

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